힉스컴퍼니
홀로그램 기반 초정밀 스마트 검사 장비 고도화 개발 3D Nanoscopy 검사모듈 - 대상물질의 형상을 나노단위로 검측하는 기술 - 나노 단위의 형상검사가 필요한 모든 산업분야에 적용 가능하지만 특히 반도체 웨이퍼의 평탄도 검사에 가장 유용하게 사용될 수 있음 기존의 검사장비 : 검사 속도 느림, 정확도가 250nm 수준으로 낮음 (갈수록 정밀해지는 반도체 공정에 대응하기 어려움) HICS의 3D Nanoscopy 솔루션 : 검사 속도 1초 이내, 검사정확도가 120nm까지 증가 (정밀하고 효율적인 웨이퍼 검사를 가능. 웨이퍼의 수율 향상 및 반도체 생산효율 향상) 3D Nanoscopy 솔루션 상용화 개발 완료 후 반도체 웨이퍼 뿐만 아니라 디스플 사 레이(LCD, OLED 등), 바이오메디컬 (세포형상 검사 등)을 비롯하여 나노단위의 형성검사가 필요한 여러 분야에 폭넓게 적용 예정 업 개 요
- 투자금액
- 50억 원
- 소재지
- 경북 구미시
- 팁스 선정
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- 설립연도
- 2014년
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