시리즈 B : BM 고도화
인투코어테크놀로지
플라즈마 개스 변환장치의 개발 무전극, 고밀도, 대유량 플라즈마를 이용하여 고부가가치의 개스를 생산하는 플라 즈마 개스 변환장치의 제조 및 공급 - 단일 모델로 다양한 종류의 활성종을 선택적으로 생산하여 반도체 제조용 챔버에 공급하는 장치 개발 및 생산 - CO2와 메탄을 원료로 합성개스(CO/H2)로 변환하는 장치 개발 및 생산...
사업 개요
플라즈마 개스 변환장치의 개발
사업 내용
- 사업내용
- 무전극, 고밀도, 대유량 플라즈마를 이용하여 고부가가치의 개스를 생산하는 플라 즈마 개스 변환장치의 제조 및 공급 - 단일 모델로 다양한 종류의 활성종을 선택적으로 생산하여 반도체 제조용 챔버에 공급하는 장치 개발 및 생산 - CO2와 메탄을 원료로 합성개스(CO/H2)로 변환하는 장치 개발 및 생산 - 반도체, 디스플레이 제조 산업에서 대량으로 사용되는 CF4, SF6 등의 난 분해성 개스를 최종 분해하는 장치 개발 및 생산
비즈니스 모델
비즈니스 모델 정보 준비중
제품 썸네일
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주요 성과
- 주요채널
- 한국화학연구원과의 협업을 통해 대구방천리위생매립장에 실증플랜트를 구축하여 사업화를 위한 검증, 반도체 성능평가 사업을 통한 국내 제품 평가 진행 및 객관적 제품 성능결과 확보
- 핵심활동
- 국내외 반도체 장비 제조사에 활성종 플라즈마 공급장치를 공급, 제품 평가 진행, 환경부 폐자원화에너지 개발사업 선정, 2020년 12월까지 실 증화사업 진행
- 해외진출
- 2018년 5월부터 미국, 일본 주요 반도체 장비회사에서 제품 평가 중
- 고용창출
- (선정당시) 7명 -> ('22) 56명
- 후속투자
- 46.5억원
- 매출
- (‘22) 75.4억원
- 논문 및 특허
- (특허) 국내외 출원 및 등록 74건
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